激光掃描-高精密五軸聯(lián)動(dòng)

發(fā)布時(shí)間：2024-06-07

客戶要求：
1，x軸有效勻速掃描距離：360mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
2，y軸有效勻速掃描距離：500mm，速度100mm/s，可以到速度300mm/s；
3，旋轉(zhuǎn)a：110度；旋轉(zhuǎn)b：360度；速度60rad/s；
4，z軸行程260mm，速度200mm/s；
5，重復(fù)定位精度5um以內(nèi)；