因產(chǎn)品配置不同，價(jià)格貨期需要電議，圖片僅供參考，一切以實(shí)際成交合同為準(zhǔn)。
氦質(zhì)譜檢漏儀光刻機(jī)檢漏上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻機(jī)公司, 光刻機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空, 因?yàn)樵O(shè)備整體較大, 需要對(duì)構(gòu)成光刻機(jī)的真空相關(guān)部件進(jìn)行檢漏且要求清潔無(wú)油, 滿足無(wú)塵室使用要求, 為了方便進(jìn)行快速檢漏, 采購(gòu)伯東 pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 asm 310.光刻機(jī)檢漏方法: 采用真空模式檢漏, 漏率值設(shè)定為 1x10-11pa m3/s.1. 通過波紋管與光刻機(jī)真空系統(tǒng)連接2. 使用噴槍, 噴掃管路, 腔體焊縫, 接頭等部位, 如果存在超過設(shè)定漏率值的狹縫, 檢漏儀會(huì)時(shí)時(shí)發(fā)出聲光報(bào)警, 同時(shí)在屏幕上顯示漏率值.便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀asm 310主要技術(shù)參數(shù)：
對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率
真空模式 5e-13 pa m3/s ,吸槍模式 1e-8 pa m3/s
檢測(cè)模式
真空模式和吸槍模式檢漏方法>>
氦質(zhì)譜檢漏儀無(wú)油前級(jí)泵抽速
1.7 m3/h
檢測(cè)氣體
4he , 3he, h2
響應(yīng)時(shí)間
<1s
對(duì)氦氣的抽氣速度
1.1 l/s
氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)氣法蘭
dn 25 iso-kf
進(jìn)氣口max壓力
15 hpa
通訊接口
rs-232
工作溫度
10-40 °c
噪音水平
< 45 db (a)
尺寸
350 x 245 x 141 mm
重量
21 kg (46 lb)
鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解光刻機(jī)檢漏, 請(qǐng)聯(lián)絡(luò)上海伯東鄧女士，分機(jī)134