氣浮測(cè)量裝置是 微納加工技術(shù)與裝備實(shí)驗(yàn)室自主的高精度氣浮測(cè)量裝置，用于精密光學(xué)器件和玻璃元件等精密元件的檢測(cè)，在超精密加工工藝中，對(duì)超精密器件的檢測(cè)是 超精密加工的重要組成部分。氣浮測(cè)量裝置總裝配效果。被測(cè)工件放置在大理石平臺(tái)上，因大理石平臺(tái)的平面度和光潔度達(dá)不到要求，造成檢測(cè)結(jié)果與實(shí)際結(jié)果偏差較大。為使測(cè)量精度盡可能高，在裝配的過程中，對(duì)各個(gè)部件間的配合精度要求會(huì)高，市場上外購的通過企業(yè)加工的大理石平臺(tái)的平面度和光潔度往往達(dá)不到設(shè)計(jì)時(shí)所需的要求，進(jìn)而需要進(jìn)一步手工精細(xì)研磨。
環(huán)境對(duì)大理石研磨的影響主要指溫度和振動(dòng)對(duì)其影響。在超精密加工和測(cè)量的過程中，對(duì)溫度和振動(dòng)的要求。經(jīng)過試驗(yàn)分析，采用同一測(cè)量方法對(duì)大理石平尺(直線度2.5μm）在精密恒溫恒濕的實(shí)驗(yàn)室中，在空調(diào)開啟前后的4h后分別進(jìn)行測(cè)量，直線度相差3μm。
振動(dòng)如人的走動(dòng)等都會(huì)對(duì)精密加工和檢測(cè)造成嚴(yán)重影響，本次研磨實(shí)驗(yàn)中實(shí)驗(yàn)室恒溫恒濕且大理石平臺(tái)周邊都經(jīng)過地基處理來防止振動(dòng)造成影響。
大理石平臺(tái)研磨所需的材料
1、研磨平臺(tái)
研磨平臺(tái)是 一種能夠被研磨件的精度和表面光潔度，同時(shí)壓嵌在研磨劑上的平板研磨設(shè)備，實(shí)驗(yàn)室采購的研磨平臺(tái)操作簡單、上砂快、嵌砂量足，打磨后，被研磨件光潔度顯著提高，被研磨件易得到所需的光潔度和平面度。
2、磨料碳化硼
研磨劑由磨料和研磨液調(diào)和而成。研磨液主要起到冷卻和潤滑的作用，常用煤油、汽油、甘油等。磨料碳化硼熔點(diǎn)為2350℃，硬度低于金剛石，高于剛玉和碳化硅，常用作精密大理石平臺(tái)的研磨。
3、研磨和測(cè)量過程
(1)將待研磨的花崗巖大理石平面用乙醇清洗棉紗布擦干，使大理石平面光潔。
(2)大理石平面的尺寸1200mmx800mm，瑞士電子水平儀的固定長度為150mm,故在大理石平臺(tái)上以150mm為步長，用記號(hào)筆和鋼尺(其它也可，便于劃線)配合在大理石平面進(jìn)行長度和寬度方向上進(jìn)行網(wǎng)格劃分，網(wǎng)格劃分目的是 每次測(cè)量時(shí)準(zhǔn)確放置水平儀的位置，特別注意記號(hào)筆不可用力刻畫大理石平面，以免人為傷到大理石平臺(tái)，使平面度精度降低，研磨加困難。
(3)用電子水平儀按網(wǎng)格分別在長度和寬度方向上進(jìn)行測(cè)量，一般先放置長度方向，完畢后軟件會(huì)提示放置寬度方向。在放置電子水平儀時(shí)找準(zhǔn)網(wǎng)格參照，盡量使每次放置的位置相同，因?yàn)槎啻畏胖煤蜏y(cè)量可以減少人為的測(cè)量誤差。
(4)在大理石的大平面上需要研磨的部分進(jìn)行適當(dāng)研磨，磨料碳化硼和研磨液甘油按適合比例混合形成研磨劑，研磨劑先均勻涂在大理石平臺(tái)上需要研磨的部分，然后用研磨平板進(jìn)行研磨。在研磨的過程中分為粗研磨和精研磨過程，粗研磨過程中，因研磨量大，可以適當(dāng)用力；在精研磨過程中，就要用力均勻研磨精度。同時(shí)局部研磨過程中使研磨平板的運(yùn)動(dòng)軌跡一直為8字型，這樣研磨同一性和尺寸一致性都好，不容易出現(xiàn)塌邊現(xiàn)象。
(5)重復(fù)上面步驟1一步驟4，直至達(dá)到所需要的精度。
通過研磨前后各項(xiàng)誤差對(duì)比發(fā)現(xiàn)，研磨平臺(tái)的多次研磨后，大理石平臺(tái)的平面度會(huì)取的較好的效果，要達(dá)到所需的微米級(jí)還有的難度，但實(shí)驗(yàn)證明大理石平臺(tái)的的平面度和光潔度確有的提高。
為達(dá)到測(cè)量裝置的裝配配合精度要求和滿足測(cè)量精度，該大理石平臺(tái)需要手工精磨，通過磨料碳化硼、研磨平臺(tái)、電子水平儀和與水平儀配合的軟件wyler進(jìn)行反復(fù)測(cè)量和研磨使平面度和光潔度的精度大大提高，較大化達(dá)到所需要的平面度精度要求。但在多次研磨和測(cè)量過程中大理石平臺(tái)的面積為1200mmx800mm研磨面積較大，易測(cè)量出平面度各項(xiàng)誤差，但多次手工研磨起來誤差難以。此次研磨實(shí)驗(yàn)，平面度和光潔度有所提高，拘于實(shí)驗(yàn)室現(xiàn)有條件和研磨人員的技術(shù)能力，手工研磨達(dá)到微米級(jí)要求仍有差距，但為大理石平臺(tái)的研磨提供一種方法借鑒。
精密大理石工作臺(tái)硬度比鑄鐵高2－3倍(相當(dāng)於hrc＞51)，精密大理石工作臺(tái)特別適用于高精度的測(cè)量方面。
大理石工作臺(tái)具有：精度高、不生銹、、不磁化、不變型、好等優(yōu)點(diǎn)。大理石工作臺(tái)能在重負(fù)荷及一般溫度下保持穩(wěn)定。
是 用的石質(zhì)材料制成的精密基準(zhǔn)測(cè)量工具，對(duì)儀器儀表、精密工具、機(jī)械制件的檢驗(yàn)，都是 理想的基準(zhǔn)面，精密大理石工作臺(tái)特別適用于高精度的測(cè)量方面。大理石平板取材于地下的巖石層，經(jīng)過億萬年自然時(shí)效，形態(tài)極為穩(wěn)定,不用擔(dān)心因常規(guī)的溫差而發(fā)生變形。由于大理石系非 金屬材料，磁性反應(yīng)，亦無塑性變形。
經(jīng)嚴(yán)格物理試驗(yàn)和選擇的花崗石料,結(jié)晶細(xì)密,質(zhì)地堅(jiān)硬，抗壓強(qiáng)度達(dá)2290-3750公斤／平方厘米，硬度達(dá)莫氏硬度6-7級(jí)。大理石工作臺(tái)硬度比鑄鐵高2－3倍(相當(dāng)於hrc＞51)，因此精度保持性好。在使用中巖石工具即使遭重物磕碰，至多掉幾粒石碴而已，而不會(huì)像金屬工具那樣，因變形而破壞精度。大理石工作臺(tái)優(yōu)于鑄鐵和鋼材制作的精密測(cè)量基準(zhǔn)零件，可以獲得高而穩(wěn)定的精度。
大理石平臺(tái)使用標(biāo)準(zhǔn)：1、使用前對(duì)平臺(tái)進(jìn)行清理，防止測(cè)試時(shí)工件劃傷。2、此平臺(tái)僅用于彎曲度檢測(cè)，不得作為普通平臺(tái)進(jìn)行其他作業(yè)，以防損傷平臺(tái)表面。3、大理石平板經(jīng)過定位后不得再進(jìn)行移動(dòng)，如確需移動(dòng)，需重新定位找平。4、測(cè)試時(shí)需將工件平放至檢驗(yàn)大理石平臺(tái)上，平視工件與大理石平臺(tái)接觸面，找較大縫隙處，使用塞尺進(jìn)行測(cè)量。
大理石平板的支架起著一種輔助作用，同時(shí)也是 一種保護(hù)，可以好的讓大理石工作臺(tái)發(fā)揮它的優(yōu)點(diǎn)。做為大理石平臺(tái)的輔助工具，大理石平臺(tái)的支架的地位是 相當(dāng)大的，它可以大理石平板的平穩(wěn)度。大理石平臺(tái)支架具有不變形硬度高強(qiáng)，抗磨蝕，而且物理性穩(wěn)定組織縝密受撞擊晶粒脫落表面不起毛邊不影響其平面精度。