弗萊貝格x-ray diffractometer
使用x 射線衍射儀xrd 進(jìn)行晶圓棒，晶圓片及晶錠的生產(chǎn)質(zhì)量控制
晶棒定向 | 晶圓片分析| 石英片 分選
定向：
at | sc | it | tf | x | y | z
弗萊貝格x-ray diffractometer
quartz xrd的特點(diǎn)：
檢測速度: 2 s (at quartz)
高精度: ≤ 10 arcsec 標(biāo)準(zhǔn)偏差
空間分辨率： 1 mm ± 0.1 mm
› 測定相對于樣品的取向傾角
› 自動顯示角度分量(theta & phi) ，包括標(biāo)準(zhǔn)偏差
德國工藝: 穩(wěn)健及模塊化設(shè)計(jì)
› 軟件: 易于使用的軟件套件與多個用戶級別。自動顯示、記錄和報告測量數(shù)據(jù)
› 自動化: 定制不同規(guī)格的晶圓片或blank的樣品處理系統(tǒng)，包括機(jī)器人，取放，振動分揀機(jī)