伴隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展，半導(dǎo)體器件生產(chǎn)設(shè)備要求猛增，相對應(yīng)的分析也快速發(fā)展趨勢。因為研究起步較晚，與外國差別大約20年。機器設(shè)備被外國壟斷性，在其中晶棒整形一體機是半導(dǎo)體材料光伏材料生產(chǎn)加工的主要設(shè)備之一，一樣被外國壟斷性。國內(nèi)機器設(shè)備選用分離式設(shè)計方案，精密度差、效率低、自動化技術(shù)水平低、進口產(chǎn)品成本增加,生產(chǎn)能力比較有限,交貨期長,比較嚴重限制了中國半導(dǎo)體業(yè)的發(fā)展趨勢.為了解決這一難題,碳化硅晶體專用型晶棒整形一體機。
對于目前的碳化硅晶體在在開展檢驗整形全過程中,一般全部都是選用人工去進行,人工的工作效能低,且傳統(tǒng)式的碳化硅晶體在檢驗整形美容全過程中,自動化技術(shù)水平低的難題，現(xiàn)指出如下所示計劃方案，其包含床體,上述床的身上設(shè)有立桿,立桿上設(shè)有托板,托板上設(shè)有2個主軸軸承頭,2個主軸軸承頭頂均設(shè)有砂輪,砂輪的下邊設(shè)有坐落于床的身上的操作臺，床體的一側(cè)設(shè)有工作臺，氣動剎車開啟，使全部操作臺固定不動，隨后內(nèi)孔砂輪下刀開展切削，操作臺左右挪動，在旋光性部位切削mm創(chuàng)口，能夠主題活動挪動的手推車臺，完成了自動化技術(shù)對碳化硅晶體開展檢驗整形方便使用。