在線式真空等離子清洗機(jī)：
在線式真空等離子清洗機(jī)的主要結(jié)構(gòu)包括：機(jī)架、自動(dòng)投料設(shè)備和自動(dòng)清洗設(shè)備；上下料推料機(jī)構(gòu)，上下料取料放置平臺(tái)，上下料輸送系統(tǒng)，上下料撥料機(jī)構(gòu)、反應(yīng)倉(cāng)、設(shè)備主體結(jié)構(gòu)及電氣控制系統(tǒng)等。在線式真空等離子清洗機(jī)整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，其效率非常高；整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊，性能全面，處理效果均勻穩(wěn)定，配置靈活，性價(jià)比高。并可由人工或前工序自動(dòng)完成上料、上料、定位、開應(yīng)料門、投料、清洗和出料，再由人工下料或按照工序自動(dòng)完成下料、上料、下料。在線式真空等離子體清洗機(jī)是一種自動(dòng)搬運(yùn)物料的設(shè)計(jì)理念，與傳統(tǒng)的等離子清洗系統(tǒng)相比，減少了人工搬運(yùn)節(jié)約成本，提高了設(shè)備的自動(dòng)化水平。
在線式真空等離子清洗屬于高精度干式清洗，其原理是利用射頻源產(chǎn)生的高壓交流電場(chǎng)，將氧、氬、氫等工藝氣體激發(fā)成高活性或高能量的離子，通過化學(xué)反應(yīng)或物理作用對(duì)工件表面進(jìn)行處理，達(dá)到分子水平上的污染物去除，提高表面活性。針對(duì)不同的污染物，采用不同的清洗工藝，可達(dá)到理想的清洗效果。
真空等離子體清洗在的真空下產(chǎn)生等離子體與有機(jī)污染物和微顆粒污染物反應(yīng)或碰撞形成揮發(fā)性物質(zhì)，通過工作氣流和真空泵將揮發(fā)性物質(zhì)清除，從而使工件達(dá)到表面清潔作用。等離子體清洗是一種剝離式清洗，其特點(diǎn)是清洗后對(duì)環(huán)境無污染。在線式等離子設(shè)備是在成熟的等離子體工藝和設(shè)備制造基礎(chǔ)上，增加了上下料、送料等自動(dòng)化功能。對(duì)ic封裝中引線框進(jìn)行預(yù)清洗，如點(diǎn)膠裝片、芯片鍵合和塑封前清洗，在極大地提高粘接和鍵合強(qiáng)度等性能的同時(shí)，避免了人為因素對(duì)引線框的長(zhǎng)期接觸所造成的二次污染，同時(shí)也避免對(duì)芯片造成的損壞。
在線式等離子清洗廣泛應(yīng)用于膠粘、焊接、印刷、涂層等場(chǎng)合，通過等離子體作用于產(chǎn)品表面，提高其表面活性，并活化表面性能，可顯著改善產(chǎn)品，已成為中高檔產(chǎn)品表面性能處理的設(shè)備。在線式真空等離子清洗機(jī)集中于等離子體表面改性或等離子體表面處理應(yīng)用。正是利用了等離子體的高能和不穩(wěn)定性，對(duì)待處理材料的表面進(jìn)行清洗、活化和激活，從而改變表面的微觀結(jié)構(gòu)、化學(xué)性質(zhì)和能量。
等離子體與物體表面的作用可分為物理作用(離子轟擊)和化學(xué)作用。物理化學(xué)反應(yīng)機(jī)制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面，被真空泵吸出；化學(xué)反應(yīng)機(jī)制是各種活性粒子與污染物反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性物質(zhì)，再由真空泵吸出揮發(fā)性物質(zhì)。
等離子體清洗以物理反應(yīng)為主，其自身無化學(xué)反應(yīng)，清洗表面不留氧化物，可保持被清洗物的化學(xué)純凈；缺點(diǎn)是對(duì)表面有少量的損傷，會(huì)產(chǎn)生很大的熱效應(yīng)，對(duì)被清洗物表面的各種不同物質(zhì)選擇性差，腐蝕速度低。
利用化學(xué)反應(yīng)等離子體進(jìn)行清洗，其優(yōu)點(diǎn)是清洗速度高，選擇性好，能更有效地清除有機(jī)物，缺點(diǎn)是會(huì)在表面產(chǎn)生氧化物。與物理反應(yīng)相比，化學(xué)反應(yīng)的缺點(diǎn)是不容易克服的。而兩種反應(yīng)機(jī)理對(duì)表面微觀形貌的影響有顯著差異，物理反應(yīng)可以使表面在分子水平上變得更“粗糙”，從而改變表面粘結(jié)的性質(zhì)。
此外，等離子體清洗在表面反應(yīng)機(jī)理中，物理反應(yīng)和化學(xué)反應(yīng)都起著重要作用，也就是反應(yīng)離子腐蝕和反應(yīng)離子束腐蝕，兩種清洗可以相互促進(jìn)，離子轟擊使被清洗的表面使其化學(xué)鍵減弱形成原子態(tài)，容易吸收反應(yīng)劑，離子碰撞使被清洗物受熱，使之更容易發(fā)生反應(yīng)，具有較好的選擇性、清洗率、均勻性和方向性。