鈮酸鋰具有出色的光電特性，作為一種集成光子平臺，受到廣泛關(guān)注。在此基礎(chǔ)上，各種功能光子器件，如電光調(diào)制器和非線性波長轉(zhuǎn)換器，已經(jīng)展現(xiàn)出令人矚目的性能。與此同時，基于鈮酸鋰薄膜的激光器和放大器作為集成光子系統(tǒng)的重要組成部分，也取得了一系列令人振奮的突破和進展。
鈮酸鋰材料將yl未來片上集成光路的變革。隨著全球經(jīng)濟數(shù)字化浪潮的推動，智慧城市和數(shù)據(jù)中心的建設(shè)與光子芯片的研發(fā)和生產(chǎn)密切相關(guān)。鈮酸鋰材料可用于制備集成激光器、放大器、變頻器、電光調(diào)制器、光電探測器等關(guān)鍵光子器件，促進了光通信、激光雷達、粒子傳感、信息處理等領(lǐng)域的快速發(fā)展。未來，更多類型的高集成、多功能lnoi芯片將走向產(chǎn)業(yè)化，片上集成光路領(lǐng)域也將迎來數(shù)字經(jīng)濟時代的新發(fā)展機遇。
hmds預(yù)處理系統(tǒng)
將hmds氣相沉積至半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、碳化硅、玻璃、藍寶石、鍍金晶圓等材料表面后，經(jīng)系統(tǒng)加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。
智能型hmds預(yù)處理系統(tǒng)（js-hmds90-ai）技術(shù)性能：
內(nèi)尺寸：300×300×300，450×450×450，550×550×550（mm）（可定制）
溫度范圍：rt+50-200℃
真空度：≤1torr
控制方式：人機界面，一鍵運行
真空泵：無油渦旋真空泵
智能型hmds預(yù)處理系統(tǒng)（js-hmds90-ai）特點：
hmds藥液泄漏報警提示功能
hmds低液位報警提示功能
工藝數(shù)據(jù)記錄功能
藥液管道預(yù)熱功能
程序鎖定保護等功能
關(guān)鍵詞：芯片 變頻器 人機界面 真空泵