真空泵的選購(gòu)注意事項(xiàng)
選用真空泵時(shí)，需要注意下列事項(xiàng)：
1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求110-5mmhg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要510-6mmhg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。
2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmhg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4~510-6mmhg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmhg下長(zhǎng)期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmhg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmhg為好。
3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵）對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來(lái)，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。
5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí)，應(yīng)該選各種無(wú)油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。
6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無(wú)顆?；覊m，有無(wú)腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排出來(lái)的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無(wú)油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響。若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。
-806 /
e-m:lm@oven.cc
或是登錄我們的
www.oven.cc
.tw
昆山宏展儀器主營(yíng):紫外光加速老化試驗(yàn)機(jī);q8/uv紫外光加速老化試驗(yàn)機(jī);高低溫交變濕熱試驗(yàn)箱;minicool小型高低溫濕熱試驗(yàn)箱;p系列高低溫交變濕熱試驗(yàn)箱;高低溫試驗(yàn)箱;c系列高低溫試驗(yàn)箱;t系列高低溫循環(huán)試驗(yàn)箱;高溫試驗(yàn)箱;oven系列高溫試驗(yàn)箱;高低溫沖擊試驗(yàn)箱;ts系列高低溫沖擊試驗(yàn)箱;環(huán)境應(yīng)力篩選試驗(yàn)箱;快速溫度變化試驗(yàn)箱;步入式環(huán)境試驗(yàn)室;步入式恒溫恒濕試驗(yàn)室;預(yù)燒室;預(yù)燒室/燒機(jī)房/老化房/burn-in room;太陽(yáng)能模組可靠度試驗(yàn)設(shè)備;熱循環(huán)濕氣凍結(jié)濕熱試驗(yàn)箱;太陽(yáng)能紫外線老化試驗(yàn)機(jī)