與傳統(tǒng)的機械加工一樣，機床本身的各種誤差，工件和工具電極的定位、安裝誤差都會影響到電火花加工的精度。另外，與電火花加工工藝有關的主要因素是放電間隙的大小及其一致性、工具電極的損耗及其穩(wěn)定等。電火花加工時工具電極與工件之間放電間隙大小實際上是變化的，電參數(shù)對放電間隙的影響非常顯著，精加工放電間隙一般只有0.01mm（單面），而粗加工時則可達0.5mm以上。目前，電火花加工的精度為0.01~0.05mm。
電火花加工時，可以通過修正電極的尺寸對放電間隙進行補償，以獲得較高的加工精度。然而，放電間隙的大小實際上是變化的，影響著加工精度。
1.表面粗糙度
電火花加工表面的粗糙度取決于放電蝕坑的深度及其分布的均勻程度，只有在加工表面產(chǎn)生淺而分布均勻的放電蝕坑，才能保證加工表面有較小的粗糙度值。為了控制放電凹坑的均勻性，需要采用等能量放電脈沖控制技術，即檢測間隙電壓擊穿下降沿，控制放電脈沖電流寬度相等，用相同的脈沖能量進行加工，從而使加工表面粗糙度微觀上均勻一致。
2.加工間隙（側面間隙）的影響
加工間隙的大小及其一致性直接影響電火花成形加工的加工精度。只有掌握每個規(guī)準的加工間隙和表面粗糙度的數(shù)值，才能正確設計電極的尺寸，決定收縮量，確定加工過程中的規(guī)準轉換。
3.加工斜度的影響
在加工中，不論型孔還是型腔，側壁都有斜度，形成斜度的原因，除電極側壁本身在技術要求或制造中原有的斜度外，一般都是由電極的損耗不均勻，以及“二次放電”等因素造成的。
（1）電極損耗的影響。電極由于損耗而形成錐度，這種錐度反映到工件上，就形成了加工斜度。
（2）工作液臟污程度的影響。工作液越臟，“二次放電”的機會就越多，同時由于間隙狀態(tài)惡劣，電極回升的次數(shù)必然增多。這兩種情況都將使加工斜度增大。
（3）沖油或抽油的影響。采用沖油或抽油對加工斜度的影響是不同的。用沖油加工時，電蝕產(chǎn)物由已加工面流出，增加了“二次放電”的機會，使加工斜度增大。而用抽油加工時，電蝕產(chǎn)物是由抽吸管排出去，干凈的工作液從電極周邊進入，所以在已加工面出現(xiàn)“二次放電”的機會較少，加工斜度也就小。
（4）加工深度的影響。隨著加工深度的增加，加工斜度也隨著增加，但不是成比例關系。當加工深度超過一定數(shù)值后，被加工件的上口尺寸就不再擴大了，即加工斜度不再增加。不同的加工對象對加工斜度的要求也不同。在型腔加工中，由于本身要求有一定的拔模斜度，則對加工斜度的要求并不嚴格。對于直壁沖模，則要求加工斜度比較嚴格。只要掌握影響加工斜度的規(guī)律，即可達到預定的要求。
4.楞角倒圓的原因及規(guī)律
電極尖角和楞邊的損耗，比端面和側面的損耗嚴重，所以隨著電極楞角的損耗導致楞角倒圓，加工出的工件不可能得到清楞。而且，隨著加工深度的增加，電極楞角倒圓的半徑增大。但超過一定加工深度，其增大的趨勢逐漸緩慢，zui后停留在某一zui大值上。楞角倒圓的原因除電極的損耗外，還有放電間隙的等距離性。凸尖楞電極由于尖角放電的等距離性，必然使工件產(chǎn)生圓角；凹尖楞電極的尖點根本不起放電作用，但由于積屑也會使工件凸楞倒圓。因此，既使電極*沒有損耗，由于間隙放電的等距離性仍然不可能得到*的清楞。如果要求倒圓半徑很小，必須要縮小放電間隙
工作介質(zhì)是產(chǎn)生放電的基本條件，目前主要采用液體介質(zhì)。它形成火花擊穿放電通道，對放電通道產(chǎn)生壓縮作用，并在放電結束后迅速恢復間隙的絕緣狀態(tài)，幫助電蝕產(chǎn)物的拋出和排除，并使工具冷卻。所以說介質(zhì)對于電火花加工有很大的作用