當(dāng)了解了超純水中雜質(zhì)對(duì)器件的影響后，如何確定超純水系統(tǒng)流程以保證生產(chǎn)設(shè)備對(duì)超純水水質(zhì)的要求就成為超純水系統(tǒng)所要解決的首要問(wèn)題。工業(yè)純水制備系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)及工藝生產(chǎn)設(shè)備要求的超純水水質(zhì)來(lái)確定，一般由下列三部分組成：預(yù)處理系統(tǒng)、純水處理系統(tǒng)、超純水制取系統(tǒng)。
在超純水制備的純水處理系統(tǒng)中，往往要使用反滲透裝置(ro)，且反滲透膜多以交聯(lián)芳香族聚酰胺復(fù)合膜為主，這類(lèi)膜的不足之處在于：抗氧化性差，氧化性物質(zhì)能導(dǎo)致膜聚合物分解，而活性炭恰恰對(duì)水中余氯、過(guò)氧水等氧化性物質(zhì)有良好的去除效果。因此，在工業(yè)超純水制備的預(yù)處理系統(tǒng)中采用活性炭處理單元是十分必要的。
一次純水處理系統(tǒng)的目的是對(duì)預(yù)處理系統(tǒng)的出水進(jìn)一步進(jìn)行處理，代表性的裝置有反滲透、混合離子交換、一級(jí)膜脫氣、edi(電再生脫鹽)、uv(紫外線(xiàn))、一級(jí)拋光等。其中，反滲透、uv進(jìn)一步去除一次純水處理系統(tǒng)遺留下來(lái)的toc;混合離子交換既可去除一次純水處理系統(tǒng)遺留下來(lái)的toc，也可去除sio2;利用膜脫氣對(duì)預(yù)處理水中的溶解氧進(jìn)行處理;一級(jí)拋光采用高純樹(shù)脂，用來(lái)處理金屬離子。
預(yù)處理的目的是去除水中所含的懸浮物、膠體、高分子有機(jī)物等雜質(zhì)。需要指出的是，活性炭對(duì)去除toc有非常好的效果，但它也往往成為微生物的滋生地。因此，在預(yù)處理系統(tǒng)中采用活性炭處理單元時(shí)，應(yīng)將活性炭處理單元的進(jìn)水調(diào)成酸性，以防止微生物滋生。--東莞超純水處理設(shè)備，
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