1、精密加工與超精密加工定義
精密加工是指在一定的發(fā)展時期，加工精度與表面質(zhì)量達到較高程度的加工工藝。超精密加工則是指在一定的發(fā)展時期，加工精度與表面質(zhì)量達到最高程度的加工工藝。顯然，在不同的發(fā)展時期，精密與超精密加工有不同的標準。
3、加工精度與年代之間的關系
圖顯示了加工精度與年代之間的關系。從圖中可見，傳統(tǒng)的機械加工方法（普通加工）與精密和超精密加工方法一樣，隨著新技術、新工藝、新設備以及新的測試技術和儀器的采用，其加工精度都在不斷地提高。加工精度的不斷提高，反映了加工工件時材料的分割水平不斷由宏觀進入微觀世界的發(fā)展趨勢。隨著時間的進展，原來認為是難以達到的加工精度會變得相對容易。因此，普通加工、精密加工和超精密加工只是一個相對概念，其間的界限隨著時間的推移不斷變化。當前一般認為：普通加工所達到的精度是1μm（稱為微米加工），精密加工所達到的精度是0.1～0.01μm（稱為亞微米加工），而超精密加工所達到的精度是0.001μm（也稱為納米加工）。