純氧曝氣常用以下幾種方式：
(1)純氧曝氣活性污泥工藝，用加蓋密閉式曝氣池和葉輪式氧氣表曝機(jī)曝氣，池體分3~4 段，每段設(shè)1臺(tái)表曝機(jī)。我國(guó)中石化公司的5家石化公司引進(jìn)的就是這個(gè)技術(shù)。此技術(shù)使用表面曝氣，曝氣能耗較高，且曝氣池加蓋造價(jià)較高。
(2)開(kāi)發(fā)的改進(jìn)型活性污泥處理工藝(簡(jiǎn)稱(chēng)oases工藝)也用加蓋密閉式曝氣池，曝氣池中間分為若干個(gè)格，各格之間在池體上部開(kāi)口，使各格氣液串聯(lián)，氧氣用離心壓縮機(jī)由頂部送入池內(nèi)格液面， 經(jīng)水下葉輪中空軸進(jìn)入水下葉輪，從水下葉輪的噴嘴溶入處理的污水中，污水和氧氣都由格進(jìn)，出水及排氣由后一格排出。氧利用率可達(dá)90%。
(3)工藝使用敞開(kāi)式曝氣池，純氧曝氣的微氣泡是由一種具有優(yōu)良彈性和耐久性的特種橡膠材料制成的軟管做成的輸氧氣墊產(chǎn)生的，軟管壁上均勻分布微細(xì)小孔，氧氣經(jīng)過(guò)小孔可以產(chǎn)生<2 mm 的微氣泡，擴(kuò)大了氣(氧氣)、液(可溶性有機(jī)物)、固(活性污泥微生物)相接觸面積，氣、液、固傳質(zhì)效率高，提高了氧的利用率，縮短了反應(yīng)時(shí)間。輸氧氣墊由不銹鋼架支撐，安裝在曝氣池底。試驗(yàn)結(jié)果表明，在1m水深中用此法通氧，氧的利用率達(dá) 16%，在5m水深中用此法通氧，氧的利用率達(dá)80%。橡膠軟管上的小孔能自行關(guān)閉，相當(dāng)于單向閥，不會(huì)使池內(nèi)處理污水倒流進(jìn)軟管且開(kāi)停車(chē)方便。曝氣供氧壓力0.2~0.4 mpa，采用較高的供氧壓力可以保證整個(gè)池內(nèi)輸氧氣墊的供氣軟管氧氣分布均勻， 輸氧氣墊的安裝水平度因此也要求不高，利用較高的氧壓， 可使污水處理池內(nèi)氣、液、固三相混配均勻，保證了反應(yīng)的快速進(jìn)行，另外橡膠軟管上的小孔能隨壓力的變化改變開(kāi)度，氧氣流量、壓力控制范圍寬，操作彈性大，從而大大提高了污水處理的抗沖擊性。
純氧曝氣所用的曝氣器與空氣曝氣器是可以通用的，只是因氣量不同需做適當(dāng)調(diào)整。國(guó)內(nèi)已能生產(chǎn)多種空氣曝氣器，效果良好的空氣曝氣器，從原理上講對(duì)于純氧曝氣也應(yīng)*。