rennishaw雷尼紹光柵
附件ree/ref:
ree系列細分盒為更低等級的信號細分提供簡單的“即插即用”解決方案。ree系列細分盒使數(shù)字正交輸出信號的分辨率提高了至少20倍。ree的三個模式,設(shè)計初衷是用于雷尼紹的鋼帶光柵系列,目前經(jīng)過驗證也可用于rle。
提供十進制和二進制細分選項ree和ref是具有創(chuàng)新意義的細分盒,可提供多種創(chuàng)新功能和x4096的一系列細分系數(shù)。讀數(shù)頭的光學(xué)濾波系統(tǒng)與接口的自動增益、偏置與平衡控制相結(jié)合,可在任意速度下,將周期誤差(電子細分誤差-sde)控制在±50nm以下。也可提供模擬輸出接口,它使用這種出眾的信號控制,通過適當(dāng)質(zhì)量的模擬輸入來輸出高精度的1vpp信號。
高速
ree和ref都能產(chǎn)生行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的rs422a高速數(shù)字方波(在0.1μm分辨率時為2.8m/s),并提供多種更高的用戶可選的時鐘頻率(25、30、50mhz),以確保與新一代高速主控制器兼容。ree細分1vpp光柵輸出,而ref細分來自超小型rgh25f和rgh20f讀數(shù)頭的*信號。
安裝簡單
ree與ref都具有快速、可靠的校準(zhǔn)步驟,可保證的安裝,還具有監(jiān)控信號強度的三色led安裝指示燈。為幫助實現(xiàn)安裝,在信號強度到達100%±10%時led指示燈亮藍色。還有一個設(shè)定行,其電壓與信號幅值成正比,用于遠程監(jiān)控和診斷。
ref接口特性:
自調(diào)節(jié)主動修正
ref接口主動修正輸入信號的瑕疵,從而提高系統(tǒng)精度。主要進行以下修正:
自動偏置控制 (aoc) - 分別調(diào)整正弦和余弦信號的偏移量
自動增益控制 (agc) - 確保信號幅值一致,即1 vpp
自動平衡控制 (abc) - 調(diào)整增益量,保持正弦和余弦信號相等
這些修正機制在讀數(shù)頭整個工作速度范圍內(nèi)進行修正。
用戶可通過按下校準(zhǔn)按鈕3秒以上禁用/啟用agc。
平面鏡系統(tǒng)性能ree模式 ree訂貨號 分辨率 (nm) 高速度 (mm/s)
ree100 ree0100a20b 1.582 17.7
ree200 ree0200a20b 0.791 8.8
ree400 ree0400a20b 0.395 4.4
角錐反射鏡系統(tǒng)性能ree模式 ree訂貨號 分辨率 (nm) 高速度 (mm/s)
ree100 ree0100a20b 3.164 35.4
ree200 ree0200a20b 1.582 17.7
ree400 ree0400a20b 0.791 8.8
using 20 µm scale
ree0004 - 5 µm resolution
ree0020 - 1 µm resolution
ree0040 - 0.5 µm resolution
ree0100 - 0.2 µm resolution
ree0200 - 0.1 µm resolution
ree0400 - 50 nm resolution
ree1000 - 20 nm resolution
ree2000 - 10 nm resolution
ree4000 - 5 nm resolution
using 40 µm scale
ree0004 - 10 µm resolution
ree0020 - 2 µm resolution
ree0040 - 1 µm resolution
ree0100 - 0.4 µm resolution
ree0200 - 0.2 µm resolution
ree0400 - 0.1 µm resolution
ree1000 - 40 nm resolution
ree2000 - 20 nm resolution
ree4000 - 10 nm resolution