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        淺談電壓擊穿強(qiáng)度測試儀與襯底材料的關(guān)系

        發(fā)布時(shí)間:2024-08-20
        相信很多朋友和小編一樣,從各種場合無數(shù)次的看過如下的圖:
        擊穿電壓隨襯底材料厚度的增加而增大,隨摻雜濃度的減小而增大。
        出事了,貌似與摻雜濃度的關(guān)系不大,弱相關(guān);且從圖上看貌似有蕞優(yōu)的摻雜濃度,此時(shí)擊穿電壓蕞大。
        為了澄清,小編特意翻閱了公式,公式如下:
        1、非穿通結(jié)構(gòu),擊穿電壓公式如下:
        (1)
        2、穿通結(jié)構(gòu),擊穿電壓公式如下:
        (2)
        其中emax為蕞大場強(qiáng),εs為半導(dǎo)體材料介電常數(shù),q為單位電荷,nd為襯底摻雜濃度,wp為襯底厚度。
        其中硅材料蕞大場強(qiáng)emax有如下公式:
        (3)
        以襯底厚度wp=100um為例,對(duì)擊穿電壓和摻雜濃度進(jìn)行了作圖,如下:
        摻雜濃度確實(shí)存在優(yōu)值,摻雜濃度2.5e13,擊穿電壓蕞大,為1663v。但擊穿電壓與摻雜濃度弱相關(guān),當(dāng)摻雜濃度1e14(增大4倍)
        時(shí),擊穿電壓為1323v,僅減小340v。
        以硅材料,摻雜濃度1e14為例,對(duì)擊穿電壓和襯底厚度進(jìn)行了作圖,如下:
        擊穿電壓隨襯底厚度增加而增大,但存在蕞大值。襯底摻雜濃度1e14,襯底厚度為120um,擊穿電壓最大,為1364v。
        小結(jié)如下:
        1、當(dāng)襯底摻雜濃度確定后,擊穿電壓有蕞大值,計(jì)算用公式(1);
        2、當(dāng)襯底摻雜濃度確定后,襯底厚度有蕞大值;再增大襯底厚度,擊穿電壓飽和不變;
        3、當(dāng)襯底厚度一定時(shí),襯底摻雜濃度存在優(yōu)值,此時(shí)擊穿電壓蕞大;
        4、當(dāng)襯底厚度一定時(shí),摻雜濃度小于優(yōu)值,擊穿電壓減小;
        5、當(dāng)襯底厚度一定時(shí),摻雜濃度大于優(yōu)值,擊穿電壓減小。
        總結(jié)如下:
        1、擊穿電壓隨襯底厚度增大而增大,但會(huì)飽和;
        2、擊穿電壓與摻雜濃度弱相關(guān),但存在優(yōu)值,此時(shí)擊穿電壓蕞大。
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