生產(chǎn)工廠 不同工廠對(duì)空氣質(zhì)量的要求差別很大。裝有排煙罩和污染控制設(shè)備的工廠需要補(bǔ)充大量的空氣, 如果這些工廠所在地區(qū)環(huán)境空氣受到污染, 那么在將補(bǔ)充的空氣分布到工作場(chǎng)所之前必須先進(jìn)行過(guò)濾。在半導(dǎo)體生產(chǎn)和制藥工業(yè)中, 對(duì)空氣的潔凈度要求較高。典型的工作環(huán)境中, 每立方英尺空氣中含有500000 個(gè)粒子, 而半導(dǎo)體生產(chǎn)的要求是每立方英尺空氣中只有1 個(gè)粒子。因此, 工作間需要用經(jīng)過(guò)hepa 過(guò)濾器過(guò)濾的潔凈空氣不斷地循環(huán)清洗。為保持hepa 過(guò)濾器的潔凈和壽命, 還需要幾段效率較低的預(yù)濾器聯(lián)合使用。 工業(yè)用潔凈室要求連續(xù)有效地去除粒徑更小的粒子。hepa 過(guò)濾器一度是效率zui高的過(guò)濾器, 現(xiàn)在ul pa 過(guò)濾器則是效率zui高的過(guò)濾器, 以后更率的新一代過(guò)濾器也將得以開(kāi)發(fā)應(yīng)用。微細(xì)玻璃纖維過(guò)濾介質(zhì)是過(guò)濾器介質(zhì)的主要選擇, 但膜和靜電增強(qiáng)介質(zhì)已向該領(lǐng)域滲透, 并獲得部分應(yīng)用。
對(duì)于工廠排放的廢氣, 要求zui嚴(yán)格的是毒性。某些重金屬如汞、砷、鉻、鈹?shù)榷拘院艽? 其排放限制非常嚴(yán)格。在空氣毒性方面, 美國(guó)和德國(guó)已經(jīng)通過(guò)了新的更嚴(yán)格的立法。執(zhí)行新的立法后, 空氣毒性的限制由原來(lái)的20 m g/m 3 （標(biāo)準(zhǔn)） 降低到010004 m g/m 3 （標(biāo)準(zhǔn)）。為達(dá)到這一目標(biāo), 工廠需要更先進(jìn)的過(guò)濾器以除去亞微粒子。一些德國(guó)公司使用傳統(tǒng)的折疊式微細(xì)玻璃纖維hepa 過(guò)濾器用于過(guò)濾系統(tǒng), 同脈沖空氣潔凈機(jī)理相互配合, 并使過(guò)濾介質(zhì)的波紋更密。一家美國(guó)公司則通過(guò)設(shè)計(jì)管式微細(xì)玻璃纖維hepa 過(guò)濾器又向前進(jìn)了一步。