plasma設備清洗后,有客戶反饋材料表面變黃是什么原因:
客戶在使用plasma設備處理產(chǎn)品時,往往會出現(xiàn)產(chǎn)品變色,尤其是半導體封裝鍵合元件。下面我們就來總結一下plasma設備清洗后產(chǎn)品變色的緣由。
被稱為等離子體“物質(zhì)的第四態(tài)”。物態(tài)的3種物質(zhì)狀態(tài):氣體、液態(tài)和固體,同一物質(zhì)含有不同的能量,將在三種形態(tài)之間轉換,能量狀態(tài)是固體,固體吸收能量轉化為液態(tài),液態(tài)吸收能量轉化為氣體,氣體是三種形態(tài)中的能量。
氣體物質(zhì)吸收更多的能量,產(chǎn)生物質(zhì)的第四種狀態(tài),即等離子體。等離子體是電中性的,由電子、離子、光子和中性粒子組成,電子和正離子的數(shù)量基本相同,但等離子體不是穩(wěn)定的物質(zhì)狀態(tài),當電離能量消失時,各種粒子將重新組合,形成原始的氣體分子。
低溫等離子體中活性粒子種類繁多,比普通化學反應產(chǎn)生的活性粒子活性更強,種類更多。這些活性粒子容易與材料表面發(fā)生反應,因此常用于清潔或改性材料表面。plasma設備清洗的機理主要與材料表面發(fā)生反應,分為兩種:1種是粒子的化學作用,主要是自由基活性粒子;另一種是粒子的物理作用,主要是正離子和電子。
氣體放電產(chǎn)生的等離子體包括電子、正離子、亞穩(wěn)態(tài)分子和原子。當被洗滌室浸泡在等離子體中時,等離子體中的化學活性粒子與材料表面的污染物發(fā)生化學反應。如果是氫離子,則反應為還原反應;如果是氧離子,則會發(fā)生氧化反應。
等離子清洗產(chǎn)品變色的原因及解決方案如下:
清洗件表面變色的主要原因有四個:
1)由于射頻頻率和功率選擇不當,零件整體溫度過高,導致材料變性或整體氧化;
2)由于零件形狀復雜,等離子體在零件局部形成熱點,導致局部溫度過高,導致局部變性或氧化;
3)材料工件可直接用手指觸摸,可發(fā)黃;
4)其他富含氧氣的材料,如紙張,可能會導致工件變黃。
一般來說,如果產(chǎn)品容易氧化,一般可以填充氬和氫的混合氣體,將氫的比例控制在一定范圍內(nèi),考慮安全和效率的平衡。容易氧化的產(chǎn)品應避免清潔室內(nèi)的氧氣,并可通過氫氣。此外,由于產(chǎn)品變色引起的功率過高,可以適當調(diào)整和降低功率,并將其控制在適當?shù)姆秶鷥?nèi)。