一、測量顯微鏡是采用用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測量。特別適用于錄像磁頭、大規(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試儀器。廣泛地適用于計量室、生產(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺除作x、y坐標(biāo)的移動外，還可以作360度的旋轉(zhuǎn)，亦可以進行高度方向做z坐標(biāo)的測量；采用雙筒目鏡觀察。
二、主要優(yōu)點：小巧便攜，只需一臺計算機就可以直觀的觀測微觀放大圖像，進行精確數(shù)據(jù)測量、拍照備份圖片及數(shù)據(jù)資料;還可以根據(jù)客戶需要定制特種光源(熒光、紅外)用于特殊場所觀測。數(shù)碼測量顯微鏡幾年來得到廣泛的普及使用，已成為一種可靠實用的精密測量儀器。
三、以裂像聚焦指示器為測量原理,采用高精度光學(xué)聚焦點檢測方式進行非接觸高低差測量。不僅可以對準(zhǔn)目標(biāo)影像,還能觀察測量點的表面狀態(tài),對高度,深度,高低差等進行測量。本儀器的各種鏡筒還具有明暗場，微分干涉，金相，偏光等多種觀察功能。所以對極細(xì)微的間隙高低差，夾雜物、微米以下的突起、細(xì)微劃痕、以及金相組織進行觀察。
四、afm的圖像也可以使用“恒高”模式(constantheightmode)來獲得，也就是在x，y掃描過程中，不使用反饋回路，保持針尖與樣品之間的距離恒定，通過測量微懸臂z方向的形變量來成像。這種方式不使用反饋回路，可以采用更高的掃描速度，通常在觀察原子、分子像時用得比較多，而對于表面起伏比較大的樣品不適用。