熱式質(zhì)量流量計是基于熱量在流體中的傳遞進行測量的，根據(jù)熱力學原理的不同可以分為熱分布式質(zhì)量流量計和熱擴散式質(zhì)量流量計兩種。熱分布式質(zhì)量流量計作為一種非接觸式儀表，適用于小口徑微小流量的測量；熱擴散式質(zhì)量流量計作為一種插入式儀表，其傳感器放置于管道中間，適用于較大口徑流量的測量。
1、熱分布式質(zhì)量流量計
熱分布式質(zhì)量流量計基于流體流動轉(zhuǎn)移熱量從而改變前后管壁溫度分布的原理而工作的，其測量原理如圖1.1所示。傳感器部分由一個加熱器和兩個測溫元件構成，加熱元件布置在管道中間并進行恒功率加熱，兩個測溫元件對稱布置在加熱元件的上下游測量管壁溫度。
當流速為零時，加熱元件兩端溫度分布相同，此時管壁溫度分布如圖1.2中藍線所示。當流速不為零時，流體流動將上游管壁的熱量傳輸?shù)较掠喂鼙?，從而改變管壁的溫度分布，此時管壁溫度分布如圖1.2中紅線所示。在一定流量范圍內(nèi)，測溫元件之間的溫差t與被測流量q之間成線性關系。因此，通過測量兩個測溫元件之間的溫度差便可直接計算出對應的流量。
熱分布式質(zhì)量流量計可測極微小流速且分辨率高，傳感器安裝在管道上且與流體不接觸，避免了流體的壓力損失。此后，在熱分布式質(zhì)量流量計基礎上，通過改進發(fā)展出毛細管式熱式質(zhì)量流量計，在其主管道附近增加了一個直徑小得多的旁路管道，傳感器安裝在此旁路管道上，一部分被測介質(zhì)通過旁路進行流動并改變此旁路的溫度分布。
2、熱擴散式質(zhì)量流量計
熱擴散式質(zhì)量流量計基于金氏定律，其傳感器被不銹鋼鋼套包裹并插入到管道中間，一個傳感器測量流體的溫度，稱為測溫探頭，另一個傳感器被用來加熱，稱為測速探頭。在流體流速穩(wěn)定時，流體流動帶走的熱量與電路提供的加熱熱量相等實現(xiàn)熱平衡，根據(jù)加熱功率或探頭之間的溫差與質(zhì)量流量之間的關系便可計算出質(zhì)量流量，熱擴散式質(zhì)量流量計的使用與測量方法如圖1.3所示。
熱擴散式質(zhì)量流量計傳感器無可動部件，被測流體壓力損失較小，可測流速范圍較大，可以實現(xiàn)100：1甚至是1000：1的量程比，因而在化工、發(fā)電和通風測量等領域中得到了廣泛應用。
根據(jù)測量方法的不同，熱擴散式流量計又可以分為恒功率和恒溫差型兩種，兩者在傳感器設計、信號調(diào)理電路和信號處理方法等方面具有較大的差異。