臭氧是一種強氧化劑，滅菌過程屬生物化學(xué)氧化反應(yīng)。滅菌的原理一般有：通過氧化分解細菌內(nèi)部葡萄糖所需的酶，使細菌滅活死亡；直接與細菌、病毒作用，破壞它們的細胞器和dna、rna，使細菌的新陳代謝受到破壞，導(dǎo)致細菌死亡；透過細胞膜組織，侵入細胞內(nèi)，作用于外膜的脂蛋白和內(nèi)部的脂多糖，使細菌發(fā)生通透性畸變而溶解死亡；
臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌*，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌毒素。另外，o3對霉菌也有*的殺滅作用。o3由于穩(wěn)定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結(jié)合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，o3是一種無污染的消毒劑。o3為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌*。而傳統(tǒng)的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學(xué)熏蒸法，都有不*、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方?jīng)]有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長等缺點?；瘜W(xué)熏蒸法也存在不足之處，如對抗藥性很強的細菌和病毒，則殺菌效果不明顯。