壓電半導(dǎo)體的介紹
壓電材料的演變過程基本上是:晶體(天然水晶到人工水晶)→壓
電陶瓷(鈦酸鋇、鋯鈦酸鉛及鈮鈷酸鉛)→晶體。目前應(yīng)用大的仍
是壓電陶瓷,并作了大量改性工作和尋找新系統(tǒng),另一方面大力培育
人工晶體,除常用的水晶外,目前壓電晶體可分兩大類,即新型壓電
單晶和壓電半導(dǎo)體,前者以linbo3、litao3為代表后者以cds、
zno為代表。壓電半導(dǎo)體是六十年代興起而盛行的材料,為時(shí)十年,
發(fā)展極為迅速。
壓電半導(dǎo)體即具有壓電性與半導(dǎo)體性能的物質(zhì)。大致可分為三類:
1、ⅱb-ⅵb族化合物:cds、cdse、zno、zns、cdte等。
2、ⅲb-ⅴb族化合物:gaas、gasb、inas、insb等。
3、ⅳb族元素:se、te等。
其晶體結(jié)構(gòu)大部分為纖維鋅礦形(6mm)或閃鋅礦形(43m),
故具有壓電性能。另因有一定的禁帶寬和適當(dāng)?shù)碾s質(zhì)等級,故具有半
導(dǎo)體性能。用e形式表示壓電基本式的電彈矩陣見表1。其晶軸方向與
振動(dòng)波的性能見表2。從表中得知,對纖維鋅礦單晶在平行或垂直于c
軸方向加電塌即可;對閃鋅礦單晶,在【111】和【110】方向加電塌
即可。這對應(yīng)用參考價(jià)值很大。
壓電半導(dǎo)體品種繁多,但目前用得多的是cds,其次zno,此外
還有cdse、zns等。其壓電參數(shù)見表3