真空饋通feedthrough是一種將高真空系統(tǒng)中的信號傳輸?shù)酵獠凯h(huán)境的裝置，通常使用電纜或光纖等傳輸介質。根據(jù)不同的傳輸介質和工作原理，真空饋通可以分為以下幾種類型：
電氣式真空饋通：利用電氣信號傳輸，可以分為高壓和低壓兩種。高壓電氣饋通主要用于傳輸高壓信號，比如高壓控制信號、離子源信號等，常用的高壓電氣饋通接頭有shv、mhv、bnc等；低壓電氣饋通主要用于傳輸?shù)蛪嚎刂菩盘枴y量信號等，常用的低壓電氣饋通接頭有d-sub、db9、lemo等。
光纖式真空饋通：利用光纖傳輸信號，具有防干擾、抗輻射、高速傳輸?shù)葍?yōu)點，適用于高精度測量、信號傳輸?shù)葢?，常用的光纖饋通接頭有fc、sc、st等。
磁耦合式真空饋通：利用磁耦合傳輸信號，適用于高真空系統(tǒng)中對電磁干擾和電氣隔離要求較高的場合，常用的磁耦合饋通接頭有mhv-c、lj、zj等。
無線式真空饋通：利用無線信號傳輸，適用于無線遙控、無線數(shù)據(jù)傳輸?shù)葢脠龊?，常用的無線饋通接口有wi-fi、藍牙等。
不同類型的真空饋通適用于不同的應用場合，需要根據(jù)具體的需求選擇合適的類型。同時，在使用真空饋通時，需要注意接口的選型、連接方式、信號的傳輸方式和速率等問題，以確保系統(tǒng)的可靠性和穩(wěn)定性。
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