等離子處理的原理：等離子體(plasma)又稱物質(zhì)第四態(tài)，區(qū)別于物質(zhì)常見的固、液、氣三種存在形態(tài)。它是一種具有一定顏色的準(zhǔn)中性電子流，是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。在等離子狀態(tài)下脫離原子束縛的電子和原子，中性原子，分子和離子做無序運(yùn)動，具有很高的能量，但整體顯中性。
高真空室內(nèi)部的氣體分子被電能激化，被加速的電子互相碰撞使原子、分子的外層電子被激化脫離軌道，生成離子或反應(yīng)性比較高的自由基。這樣生成的離子、自由基繼續(xù)相互碰撞和被電場加速，并與材料表面相互沖撞，破壞數(shù)微米深度的分子間原有的結(jié)合方式，削去孔內(nèi)一定深度的表面物質(zhì)形成微細(xì)凹凸，同時(shí)產(chǎn)生的氣體成分成為反應(yīng)性官能基(或官能團(tuán))，它們誘導(dǎo)物質(zhì)表面發(fā)生物理、化學(xué)變化，因此能夠除去鉆污從而能夠提高鍍銅的結(jié)合力。
在等離子體化學(xué)反應(yīng)中，起到化學(xué)作用的粒子主要是正離子及自由基粒子。自由基在化學(xué)反應(yīng)過程中能量傳遞的“活(化)”作用，處于激發(fā)狀態(tài)的自由基具有較高的能量，易于與物體表面分子結(jié)合時(shí)會形成新的自由基。新形成的自由基同樣處于不穩(wěn)定的高能量狀態(tài)，很可能發(fā)生分解反應(yīng)，在變成較小分子同時(shí)生成新的自由基，這種反應(yīng)過程還可能繼續(xù)進(jìn)行下去，然后分解成水、二氧化碳之類的簡單分子。在另一些情況下，自由基與物體表面分子結(jié)合的同時(shí)，會釋放出大量的結(jié)合能，這種能量又成為引發(fā)新的表面反應(yīng)推動力，從而引發(fā)物體表面上的物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而被去除。