超純水系統(tǒng)是指系統(tǒng)從原水至超純水完整產(chǎn)生的生產(chǎn)系統(tǒng)。 一般超純水系統(tǒng)是經(jīng)由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，納米率，離子吸附過濾所產(chǎn)生的超純水。
超純水系統(tǒng)工藝流程
1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象 （≥18mω.cm）(傳統(tǒng)工藝)
2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→edi裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥18mω.cm）(新工藝)
3、預(yù)處理→一級反滲透→加藥機（ph調(diào)節(jié)）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→edi裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥17mω.cm）(新工藝)
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→edi裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象（≥15mω.cm）(新工藝)
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對象 （≥15mω.cm）(傳統(tǒng)工藝)
關(guān)鍵詞：紫外線殺菌器 精密過濾器