高溫爐安全操作規(guī)程
一準備工作
1,檢查電源線接觸是否良好2,檢查連接線是否正常3,檢查冷卻水是否正常4,檢查密封性是否正常5, 準備所需工具:無塵紙、*、帆布手套、作業(yè)手套、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤
二開爐
1,打開主電源開關(guān)2, 向爐體充氬氣至大氣壓,打開爐體前門,取下石墨蓋板3, 將輸送車開關(guān)打至 out,依次操作 up - forward - up - back - down 按鈕,取出 。石墨坩堝,依次放置于石墨推車上輸送車開關(guān).4, 清爐 清理爐膛內(nèi)壁、石墨件及保溫材料上的污物
三裝料1,將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿確定其位置,依次裝入硅料。2、拔出限位桿,輸送車開關(guān)打至 in,依次操作 up - forward - back - down,將坩堝裝入爐膛內(nèi),并確定輸送車會到初始位置。3、裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關(guān)緊爐門
四抽氣
1、檢查爐門是否關(guān)緊,真空系統(tǒng)是否密封2、置 dp 按鈕于 dp on,打開干式真空泵,打開真空計開關(guān) p1g1,打開干式真空泵 。閥門,開始抽氣測試泄漏率,3、當壓力表指示為 50pa是關(guān)閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1pa/min,打開氬氣閥門充氬氣(20l/min)。
d. 加熱 先打開水環(huán)泵 再按 run,開始工藝加熱。
5.冷卻
a、加熱結(jié)束后,按工藝條件進行冷卻;
b、爐內(nèi)溫度降低至 200℃以下,壓力達到一個大氣壓后才可打開爐門,繼續(xù)冷卻。
c、*冷卻至室溫后,將輸送車開關(guān)打至 out,依次操作 up - forward - up - back- down 按鈕,取出石墨坩堝,取出硅料,并進行分裝。
d、清掃爐體后關(guān)閉爐門,將爐體抽成負壓。
e、清理并妥善放置其它附屬物件。