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        MOSFET使用多晶硅的原由及其常見技術(shù)

        發(fā)布時(shí)間:2024-08-20
        一、mosfet使用多晶硅的原由
        理論上mosfet的柵極應(yīng)該盡可能選擇電性良好的導(dǎo)體,多晶硅在經(jīng)過重?fù)诫s之后的導(dǎo)電性可以用在mosfet的柵極上,但是并非完美的選擇。mosfet使用多晶硅的理由如下:
        1. mosfet的臨界電壓(threshold voltage)主要由柵極與通道材料的功函數(shù)(work function)之間的差異來決定,而因?yàn)槎嗑Ч璞举|(zhì)上是半導(dǎo)體,所以可以藉由摻雜不同極性的雜質(zhì)來改變其功函數(shù)。更重要的是,因?yàn)槎嗑Ч韬偷紫伦鳛橥ǖ赖墓柚g能隙(bandgap)相同,因此在降低pmos或是nmos的臨界電壓時(shí)可以藉由直接調(diào)整多晶硅的功函數(shù)來達(dá)成需求。反過來說,金屬材料的功函數(shù)并不像半導(dǎo)體那么易于改變,如此一來要降低mosfet的臨界電壓就變得比較困難。而且如果想要同時(shí)降低pmos和nmos的臨界電壓,將需要兩種不同的金屬分別做其柵極材料,對(duì)于制程又是一個(gè)很大的變量。
        2.硅-二氧化硅接面經(jīng)過多年的研究,已經(jīng)證實(shí)這兩種材料之間的缺陷(defect)是相對(duì)而言比較少的。反之,金屬-絕緣體接面的缺陷多,容易在兩者之間形成很多表面能階,大為影響元件的特性。
        3.多晶硅的融點(diǎn)比大多數(shù)的金屬高,而在現(xiàn)代的半導(dǎo)體制程中習(xí)慣在高溫下沉積柵極材料以增進(jìn)元件效能。金屬的融點(diǎn)低,將會(huì)影響制程所能使用的溫度上限。
        二、mosfet的常見技術(shù)匯總
        mosfet是一種可以廣泛使用在模擬電路與數(shù)字電路的場(chǎng)效晶體管。它常見技術(shù)主要有:
        1.雙柵極mosfet
        雙柵極(dual-gate)mosfet通常用在射頻(radio frequency,rf)集成電路中,這種mosfet的兩個(gè)柵極都可以控制電流大小。在射頻電路的應(yīng)用上,雙柵極mosfet的第二個(gè)柵極大多數(shù)用來做增益、混頻器或是頻率轉(zhuǎn)換的控制。
        2.耗盡型mosfet
        一般而言,耗盡型(depletion mode)mosfet比前述的增強(qiáng)型(enhancement mode)mosfet少見。耗盡型mosfet在制造過程中改變摻雜到通道的雜質(zhì)濃度,使得這種mosfet的柵極就算沒有加電壓,通道仍然存在。如果想要關(guān)閉通道,則必須在柵極施加負(fù)電壓。耗盡型mosfet最大的應(yīng)用是在“常關(guān)型”(normally-off)的開關(guān),而相對(duì)的,加強(qiáng)式mosfet則用在“常開型”(normally-on)的開關(guān)上。
        3.nmos邏輯
        同樣驅(qū)動(dòng)能力的nmos通常比pmos所占用的面積小,因此如果只在邏輯門的設(shè)計(jì)上使用nmos的話也能縮小芯片面積。不過nmos邏輯雖然占的面積小,卻無法像cmos邏輯一樣做到不消耗靜態(tài)功率,因此在1980年代中期后已經(jīng)漸漸退出市場(chǎng)。
        4.功率mosfet
        功率mosfet和前述的mosfet元件在結(jié)構(gòu)上就有著顯著的差異。一般集成電路里的mosfet都是平面式(planar)的結(jié)構(gòu),晶體管內(nèi)的各端點(diǎn)都離芯片表面只有幾個(gè)微米的距離。而所有的功率元件都是垂直式(vertical)的結(jié)構(gòu),讓元件可以同時(shí)承受高電壓與高電流的工作環(huán)境。一個(gè)功率mosfet能耐受的電壓是雜質(zhì)摻雜濃度與n型磊晶層(epitaxial layer)厚度的函數(shù),而能通過的電流則和元件的通道寬度有關(guān),通道越寬則能容納越多電流。對(duì)于一個(gè)平面結(jié)構(gòu)的mosfet而言,能承受的電流以及崩潰電壓的多寡都和其通道的長(zhǎng)寬大小有關(guān)。對(duì)垂直結(jié)構(gòu)的mosfet來說,元件的面積和其能容納的電流成大約成正比,磊晶層厚度則和其崩潰電壓成正比。
        5.dmos
        dmos是雙重?cái)U(kuò)散mosfet(double-diffused mosfet)的縮寫,它主要用于高壓,屬于高壓mos管范疇。
        6.以mosfet實(shí)現(xiàn)模擬開關(guān)
        mosfet在導(dǎo)通時(shí)的通道電阻低,而截止時(shí)的電阻近乎無限大,所以適合作為模擬信號(hào)的開關(guān)(信號(hào)的能量不會(huì)因?yàn)殚_關(guān)的電阻而損失太多)。mosfet作為開關(guān)時(shí),其源極與漏極的分別和其他的應(yīng)用是不太相同的,因?yàn)樾盘?hào)可以從mosfet柵極以外的任一端進(jìn)出。對(duì)nmos開關(guān)而言,電壓最負(fù)的一端就是源極,pmos則正好相反,電壓最正的一端是源極。mosfet開關(guān)能傳輸?shù)男盘?hào)會(huì)受到其柵極-源極、柵極-漏極,以及漏極到源極的電壓限制,如果超過了電壓的上限可能會(huì)導(dǎo)致mosfet燒毀。
        7.單一mosfet開關(guān)
        當(dāng)nmos用來做開關(guān)時(shí),其基極接地,柵極為控制開關(guān)的端點(diǎn)。當(dāng)柵極電壓減去源極電壓超過其導(dǎo)通的臨界電壓時(shí),此開關(guān)的狀態(tài)為導(dǎo)通。柵極電壓繼續(xù)升高,則nmos能通過的電流就更大。nmos做開關(guān)時(shí)操作在線性區(qū),因?yàn)樵礃O與漏極的電壓在開關(guān)為導(dǎo)通時(shí)會(huì)趨向一致。
        pmos做開關(guān)時(shí),其基極接至電路里電位最高的地方,通常是電源。柵極的電壓比源極低、超過其臨界電壓時(shí),pmos開關(guān)會(huì)打開。
        nmos開關(guān)能容許通過的電壓上限為(vgate-vthn),而pmos開關(guān)則為(vgate+vthp),這個(gè)值通常不是信號(hào)原本的電壓振幅,也就是說單一mosfet開關(guān)會(huì)有讓信號(hào)振幅變小、信號(hào)失真的缺點(diǎn)。
        8.雙重mosfet(cmos)開關(guān)
        為了改善前述單一mosfet開關(guān)造成信號(hào)失真的缺點(diǎn),于是使用一個(gè)pmos加上一個(gè)nmos的cmos開關(guān)成為目前最普遍的做法。cmos開關(guān)將pmos與nmos的源極與漏極分別連接在一起,而基極的接法則和nmos與pmos的傳統(tǒng)接法相同。當(dāng)輸入電壓在(vdd-vthn)和(vss+vthp)時(shí),pmos與nmos都導(dǎo)通,而輸入小于(vss+vthp)時(shí),只有nmos導(dǎo)通,輸入大于(vdd-vthn)時(shí)只有pmos導(dǎo)通。這樣做的好處是在大部分的輸入電壓下,pmos與nmos皆同時(shí)導(dǎo)通,如果任一邊的導(dǎo)通電阻上升,則另一邊的導(dǎo)通電阻就會(huì)下降,所以開關(guān)的電阻幾乎可以保持定值,減少信號(hào)失真。
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