雙電測數(shù)字式四探針測試儀/電阻率測試儀/方阻儀 型號:dp-2263
概述
dp-2263型雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測-改形范德堡測量方法測試電阻率/方阻的多用途綜合測量儀器。該儀器符合單晶硅物理測試方法家標準并參考美 a.s.t.m 標準。利用電流探針、電壓探針的變換,行兩次電測量,對數(shù)據(jù)行雙電測分析,自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,它與單電測直線或方形四探針相比,大大提度,別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
儀器成套組成:由主機、選配的四探針探頭、測試臺以及pc軟件等部分組成。
主機主要由恒流源、分辨率adc、嵌入式單片機系統(tǒng)組成,usb通訊接口。儀器主機所有參數(shù)設定、功能轉換全部采用數(shù)字化鍵盤和數(shù)碼開關輸入;具有零位、滿度自校功能;測試功能可自動/手動方式;儀器操作可由配套軟件在pc機上操作成,也可脫pc機由四探針儀器面板上立操作成。測試結果數(shù)據(jù)由主機數(shù)碼管直接顯示,也可連機由軟件界面同步顯示、分析、保存和打?。?br> 探頭選配:根據(jù)不同材料性需要,探頭可有多款選配。有耐磨碳化鎢探針探頭,以測試硅類半導體、金屬、導電塑料類等硬質材料的電阻率/方阻;也有球形鍍金銅合金探針探頭,可測柔性材料導電薄膜、金屬涂層或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上導電膜(ito膜)或納米涂層等半導體材料的電阻率/方阻。換上四端子測試夾具,還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻行測量。
測試臺選配:般四探針法測試電阻率/方阻配dp-a或dp-b或dp-c或dp-f型測試臺。
儀器具有測量精度、靈敏度、穩(wěn)定性好、 化程度、測量簡便、結構緊湊、使用方便等點。
儀器適用于半導體材料廠器件廠、科研單位、等院校對導體、半導體、類半導體材料的導電性能的測試,別是適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試。
三、基本參數(shù)
3.1 測量范圍
電阻率:1×10-4~2×105 ω-cm,分辨率:1×10-5~1×102 ω-cm 方 阻:5×10-4~2×105 ω/□,分辨率:5×10-5~1×102 ω/□
電 阻:1×10-5~2×105 ω ,分辨率:1×10-6~1×102 ω
3.2 材料尺寸(由選配測試臺決定和測試方式決定)
直 徑:dp-a圓測試臺直接測試方式 φ15~130mm,手持方式不限
dp-b/c/f方測試臺直接測試方式180mm×180mm,手持方式不限.
長()度:測試臺直接測試方式 h≤100mm, 手持方式不限.
測量方位: 軸向、徑向均可
3.3. 4-1/2 位數(shù)字電壓表:
(1)量程: 20.00mv~2000mv
(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
3.4 數(shù)控恒流源
(1)量程:0.1μa,1μa,10μa,100µa,1ma,10ma,100ma,1a
(2)誤差:±0.1%讀數(shù)±2 字
3.5 四探針探頭(選配其或加配全部)
(1)碳化鎢探針:φ0.5mm,直線探針間距1.0mm,探針壓力: 0~2kg 可調
(2)薄膜方阻探針:φ0.7mm,直線或方形探針間距2.0mm,探針壓力: 0~0.6kg 可調
3.6 電源
輸入: ac 220v±10% ,50hz 功 耗:<20w
3.7 外形尺寸:
主機 220mm(長)×245 mm(寬)×100mm()