電加熱器是真空電阻爐的重要部件，它決定了真空爐爐子的工作能力和工作期限。下面我們來簡單介紹下真空爐的電加熱元件。
(1)電熱元件向工件傳熱的形式不同。真空爐的電熱元件是通過輻射向工件傳熱，所以在其他條件相同時，真空爐的溫度比非真空爐的要高。不過，只在低溫爐中溫度差別才比較顯著。
(2)電熱元件與爐內(nèi)氣氛互相作用的條件不同。電熱元件在真空爐內(nèi)的工作條件比其他狀態(tài)下要好，特別是比爐內(nèi)為氧化氣氛的非真空爐要好得多。因而，電熱元件在真空狀態(tài)下對抗氧化性要求不高。非真空爐電加熱器中電熱元件工作時除了爐內(nèi)氣氛與電熱元件發(fā)生化學(xué)反應(yīng)外，某些電熱材料，特別是稀有金屬，在加熱時因吸收大量氣體而變脆、易損壞，但在真空狀態(tài)下這些金屬就能較長期而可靠地工作。
(3)電熱元件材料的揮發(fā)速度不同。電熱材料在真空爐內(nèi)容易揮發(fā)，由于隨著電熱元件溫度的升高，其蒸氣壓也隨之增加，故使用壽命降低。從這一點看，真空也給電熱元件帶來了不利影響。
對于低、中溫真空爐(使用溫度不高于1000℃)，一般采用鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金作電熱元件;對于高溫真空爐，特別是使用溫度大于1200℃的真空爐，所使用的電熱元件為鋁、鎢、鉭等純金屬以及石墨。非金屬電熱材料，如碳化硅在真空下其黏結(jié)劑會分解，硅化鋁在真空下超過1300℃時會軟化，因此真空爐很少采用這兩種電熱材料