photoelectronsoulpes-2020電子束系統(tǒng)®應用 ：半導體晶圓檢測設備
【產(chǎn)品特點】
電子束比肖特基亮 10 倍以上
世界數(shù)字選擇性電子束™ (dseb) 功能
多束兼容，可形成任意形狀的電子束
即使在長期運行期間也能保持高可用性和出色的輸出穩(wěn)定性
[機身規(guī)格]
加速電壓：可調至-50kv
光束電流：200 ua 或以上
尺寸：821 mm x 722 mm x 562 mm（高 x 寬 x 深）
重量：140 kg
激光等級：4 級
安全標準：semi s2合規(guī)的
電子束工作在15ua電流下，穩(wěn)定性為0.033% (g)，正常運行時間為96%(達到)由于光陰極表面功能的惡化，光陰極的量子效率下降。根據(jù)量子效率(綠線)的惡化，通過控制激光功率(黃線)來保持電子束電流(藍線)的穩(wěn)定。通過表面再活化，表面功能得到了恢復。