一、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備概述
首先我們來(lái)說(shuō)說(shuō)半導(dǎo)體行業(yè)為什么要用超純水，而且還是18兆歐以上的高純水，主要是因?yàn)榘雽?dǎo)體工業(yè)就是通過(guò)在本征半導(dǎo)體（比如純硅）里摻雜質(zhì)來(lái)調(diào)節(jié)半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性和其它物理化學(xué)性能的，極微量雜質(zhì)就會(huì)劇烈改變半導(dǎo)體材料的性能，所以整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程需要用超純水，以減少雜質(zhì)的引入，但是可能也由于半導(dǎo)體行業(yè)中有個(gè)別工藝或產(chǎn)品的不同，導(dǎo)致用水標(biāo)準(zhǔn)不同，從10兆歐到18兆歐，我們綠健水處理公司設(shè)計(jì)的超純水設(shè)備主要采用石英砂過(guò)濾器、活性炭過(guò)濾器、軟水器、保安過(guò)濾器、二級(jí)反滲透系統(tǒng)、edi裝置。對(duì)要求水質(zhì)高的企業(yè)，在后端精處理加拋光混床以達(dá)到18.25兆歐的水質(zhì)。
二、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備的超純水設(shè)備流程
原水箱→增壓泵→全自動(dòng)多介質(zhì)過(guò)濾器→全自動(dòng)活性炭過(guò)濾器→全自動(dòng)軟化過(guò)濾器→保安過(guò)濾器→一級(jí)高壓泵→一級(jí)ro反滲透主機(jī)→一級(jí)ro純水箱→二級(jí)高壓泵→二級(jí)ro反滲透主機(jī)→二級(jí)ro純水箱→edi增壓泵→uv殺菌器→0.45um膜濾器→edi系統(tǒng)→超純水箱→超純水增壓泵→核能拋光混床→toc脫除器→終濾器→用水點(diǎn)
三、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備構(gòu)成
1、原水箱 超純水設(shè)備原水箱是用來(lái)儲(chǔ)存自來(lái)水，設(shè)置有浮球開(kāi)關(guān)，防止無(wú)水損壞增壓泵，以及預(yù)處理罐。原水箱一般采用pe水箱，當(dāng)然也可以根據(jù)用戶(hù)實(shí)際情況選用不銹鋼材質(zhì)。
2、原水泵 原水泵是從原水箱內(nèi)把水抽出，供應(yīng)給預(yù)處理，經(jīng)過(guò)預(yù)處理過(guò)濾在供給反滲透，綠健公司采用的原水泵主要是國(guó)產(chǎn)南方泵與丹麥格蘭富水泵，質(zhì)量性能都有保證。
3、全自動(dòng)石英砂過(guò)濾器石英砂過(guò)濾器也就是多介質(zhì)過(guò)濾器，或稱(chēng)之為機(jī)械過(guò)濾器，材質(zhì)可選用玻璃鋼罐、或不銹鋼、碳鋼罐等，濾料填裝石英砂，然后用壓力把自來(lái)水或地表水打入罐體內(nèi)，從而去除水中的懸浮物、有機(jī)物、膠質(zhì)顆粒、及部分重金屬離子。
5、全自動(dòng)活性炭過(guò)濾器 活性炭過(guò)濾器的作用主要是去除大分子有機(jī)物、余氯。這是因?yàn)橛袡C(jī)物、余氯易使離子交換樹(shù)脂中毒，而余氯、陽(yáng)離子表面活性劑等不但會(huì)使樹(shù)脂中毒，還會(huì)破壞膜結(jié)構(gòu)，使反滲透膜失效。
6、阻垢劑（或全自動(dòng)軟化水過(guò)濾器） 反滲透阻垢劑主要用于超純水設(shè)備反滲透膜，主要防止反滲透膜表面結(jié)垢，從而保護(hù)反滲透膜，保持超純水水質(zhì)。工作原理：反滲透阻垢劑溶于水后發(fā)生電離,生成帶負(fù)電性的分子鏈,與ca2+形成可溶于水的絡(luò)合物或螯合物,從而使無(wú)機(jī)鹽溶解度增加,起到阻垢作用。其實(shí)不管是用阻垢劑還是用樹(shù)脂其作用都是防止膜結(jié)垢。
7、保安過(guò)濾器 保安過(guò)濾器裝置在預(yù)處理后面，反滲透膜前面，有不銹鋼材質(zhì)或塑料材質(zhì)，內(nèi)置精密濾芯，有過(guò)濾精度5um的和過(guò)濾精度1um的，根據(jù)設(shè)計(jì)要求選定。
8、反滲透反滲透膜一種模擬生物半透膜制成的具有特性的人工半透膜。一般用高分子材料制成。如醋酸纖維素膜、芳香族聚酰肼膜、芳香族聚酰胺膜。表面微孔的直徑一般在0.5～10nm之間，透過(guò)性的大小與膜本身的化學(xué)結(jié)構(gòu)有關(guān)。有的高分子材料對(duì)鹽的排斥性好，而水的透過(guò)速度并不好。有的高分子材料化學(xué)結(jié)構(gòu)具有較多親水基團(tuán)，因而水的透過(guò)速度相對(duì)較快。因此一種滿(mǎn)意的反滲透膜應(yīng)具有適當(dāng)?shù)臐B透量或脫鹽率。
9、ph調(diào)節(jié)系統(tǒng) ph調(diào)節(jié)系統(tǒng)是用來(lái)調(diào)節(jié)一級(jí)反滲透產(chǎn)水的ph值，一般采用氫氧化鈉來(lái)調(diào)節(jié)。
10、edi膜塊 edi膜塊是一種新型的過(guò)濾設(shè)備，它裝置在反滲透后面，經(jīng)過(guò)二級(jí)反滲透進(jìn)入edi膜塊，出水水質(zhì)可以到到17兆，原理：它巧妙的將電滲析和離子交換技術(shù)相結(jié)合，利用兩端電極使水中帶電離子移動(dòng)，并配合離子交換樹(shù)脂及選擇性樹(shù)脂膜以加速離子移動(dòng)去除，從而達(dá)到水純化的目的。在edi除鹽過(guò)程中，離子在電場(chǎng)作用下通過(guò)離子交換膜被去除。同時(shí)，水分子在電場(chǎng)作用下產(chǎn)生氫離子和氫氧根離子，這些離子對(duì)離子交換樹(shù)脂進(jìn)行連續(xù)再生，以使離子交換樹(shù)脂保持較好的狀態(tài)。
11、uv紫外線殺菌器紫外線是一種肉眼看不見(jiàn)的光波，存在于光譜紫射線端的外側(cè)，故稱(chēng)紫外線。紫外線殺菌器是物質(zhì)運(yùn)行的一種特殊形式，是一粒粒不連接的粒子流。每一粒波長(zhǎng)253.7nm的紫外線光子具有4.9ev的能量。當(dāng)紫外線照射到微生物時(shí)，便發(fā)生能量的傳遞和積累，積累結(jié)果造成微生物的滅活，從而達(dá)到滅菌的目的。
12、toc脫除器 toc是總有機(jī)碳的簡(jiǎn)稱(chēng)。其中的紫外線燈管的作用就是：利用紫外線將水中的碳水化合物的碳打斷，在足夠的照射劑量照射下，絕大部分的有機(jī)物被分解成h2o和co2。其剩下的物質(zhì)就可以被后續(xù)設(shè)備吸附和分解。 13、拋光混床 拋光樹(shù)脂一般用于超純水處理系統(tǒng)末端，來(lái)保證系統(tǒng)出水水質(zhì)能夠維持用水標(biāo)準(zhǔn)。一般出水水質(zhì)都能達(dá)到18兆歐以上，以及對(duì)toc、sio2都有控制能力。拋光樹(shù)脂出廠的離子型態(tài)都是h、oh型，裝填后及可使用無(wú)需再生。
四、半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備的優(yōu)勢(shì)
半導(dǎo)體行業(yè)用超純水設(shè)備配備雙級(jí)反滲透裝置，可確保系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行，該套超純水設(shè)備采用進(jìn)口海德能超低壓反滲透，脫鹽率高，使用壽命長(zhǎng)，運(yùn)行穩(wěn)定，能耗低。主要元件采用進(jìn)口元件，穩(wěn)定性高，操作簡(jiǎn)單方便。除此之外設(shè)備配備uv紫外線及膜濾器，可防止細(xì)菌對(duì)水質(zhì)的影響。
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