工業(yè)去離子水主要指采用離子交換樹脂處理方法，用離子交換樹脂中的陽樹脂及陰樹脂去除水中的陰離子和陽離子，去離子水是指除去了呈離子形式雜質(zhì)后的純水?，F(xiàn)在工藝主要采用ro反滲透的方法制取。更高純度的水質(zhì)在反滲透后面還需加edi或混床超純水裝置，超純水還需加核能級拋光混床。
國際規(guī)范化組織iso/tc147中規(guī)定的去離子”定義為：去離子水或不地去除離子物質(zhì)。但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放后也容易引起細菌的繁殖。半導(dǎo)體行業(yè)中，去離子水被稱為“高純水”或是18兆歐水
蒸餾水只是先氣化再冷凝，相對而言。其水的純度一般不如純度高的去離子水（如電導(dǎo)率），半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中用的大多數(shù)是高純度的去離子水
從自來水到去離子水一般要經(jīng)過幾步處理
1先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質(zhì)
2然后高壓通過反滲透膜
3.可以再進行一次離子交換過程電阻率可達達18兆歐
4.般還要經(jīng)過一步紫外殺菌以去除水中的微生物以及配置0.22u精密過濾器
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