產(chǎn)品名稱：電容電壓特性測試儀
產(chǎn)品型號(hào)：had-cv-5000
在集成電路特別是mos電路的生產(chǎn)和開發(fā)研制中，mos電容的c-v測試是極為重要的工藝過程監(jiān)控測試手段，通過c-v測試達(dá)到優(yōu)化生產(chǎn)過程中的工藝參數(shù)，提高ic成品率。
mos（金屬－氧化物－半導(dǎo)體）結(jié)構(gòu)的電容是外加偏置電壓的函數(shù)，mos電容隨外加電壓變化的曲線稱之為c-v曲線（簡稱c－v特性）。c-v曲線與半導(dǎo)體的導(dǎo)電類型及其摻雜濃度、sio2-si系統(tǒng)中的電荷密度有密切的關(guān)系。 利用實(shí)際測量到的mos結(jié)構(gòu)的c-v曲線與理想的mos結(jié)構(gòu)的c-v特性曲線比較，可求得氧化硅層厚度、襯底摻雜濃度、氧化層中可動(dòng)電荷面密度、和固定電荷面密度等參數(shù)。
另外作為組成半導(dǎo)體器件的基本結(jié)構(gòu)的pn結(jié)具有電容效應(yīng)（勢壘電容）。加正向偏壓時(shí)，pn結(jié)勢壘區(qū)變窄，勢壘電容變大；加反向偏壓時(shí)，pn結(jié)勢壘區(qū)變寬，勢壘電容變小。
had-cv-5000型電容電壓特性測試儀是測試頻率為1mhz的智能化數(shù)字的電容測試儀器，既可用于測試半導(dǎo)體器件pn結(jié)的勢壘電容在不同偏壓下的電容量，也可進(jìn)行mos電容的外加電壓掃描測試，還可測試其它mis電容。
該電容電壓特性測試系統(tǒng)由主機(jī)和上位機(jī)（pc）組成，并在軟件控制下完成校準(zhǔn)及測試等功能，同時(shí)顯示c-v電容電壓特性曲線。主機(jī)面板上的發(fā)光二極管指示儀器的工作狀態(tài)，用數(shù)碼管組成的顯示板，將被測元件的數(shù)值，小數(shù)點(diǎn)清晰地顯示出來。儀器有較高的分辨率，電容量是五位讀數(shù)，可分辮到0.001pf，偏置電壓分辨力為0.1v，漏電流分辨力為0.01ua。
儀器配有had-cv-5000型測量座，接插元件靈活，方便可靠。
had-cv-5000型電容電壓特性測試儀軟件測試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，程序操作直觀易用。測試程序在計(jì)算機(jī)與cv-5000型電容電壓特性測試測試儀連接的狀態(tài)下，通過計(jì)算機(jī)的usb口實(shí)現(xiàn)通訊。
測試程序控制電容電壓特性測試測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到excel中，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。